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半導體設備軟件研發戰略he作huo伴 上海明yi科技有限公si位yu上海張江高科技園區錦科創新chanye園,公sihe心研發人yuan來自yu中微半導體設備、mei國應用材料、理想nengyuan設備、中晟光電設備等國內外lingxian的高端裝備公si,擁有近20nian半導體設備軟件研發經yan。 公si已經為客戶成功kai發chu量chan半導體設備kong制軟件,應用yu包括LPCVD,PECVD, MOCVD, PVD,Etch(干fa刻蝕,濕fa刻蝕),清xi機,Strip,EFEM, Sorter等半導體設備。 客戶設備已經進ru中芯國ji,hua虹,長江存儲,中車,上hua,奕斯偉,GCL,德州儀器等一線Fab廠 。
提gong整體設備軟件專ye化ding制研發 符heSEMI標準化要qiu,快速導ru工廠自動化。提gongcongSECS/GEM驅動kai發到設備kong制軟件kai發,到Fab廠EAP對接,整體交鑰匙軟件解決方案。
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