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shang海明屹科ji有限公司位于shang海張江gao科ji園區錦科創xin產業園,公司he心研發人員lai自于中wei半導ti設備、美國應yongcai料、理想能yuan設備、中晟guang電設備等國內外領先的gao端裝備公司,擁有近20年半導ti設備軟jian研發經驗。 公司已經為客戶cheng功開發出liang產半導ti設備kongzhi軟jian,應yong于包括LPCVD,PECVD, MOCVD, PVD,Etch(干法刻蝕,濕法刻蝕),清xiji,Strip,EFEM, Sorter等半導ti設備。 客戶設備已經jin入中芯國際,華hong,長江存儲,中che,shang華,yi斯wei,GCL,de州儀qi等一線Fab廠 。
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符heSEMI標準化要qiu,kuai速導入工廠自動化。提供從SECS/GEM驅動開發到設備kongzhi軟jian開發,到Fab廠EAP對接,整tijiao鑰chi軟jian解決方案。
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2024年04月20日 07:36