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上海明屹科技有限gongsi位yu上海張jiang高科技yuan區錦科創新產業yuan,gongsihe心研發人員來自yu中微ban導體設bei、meiguo應用材料、理想能源設bei、中晟光電設bei等guo內外領先的高端zhuangbeigongsi,擁有近20年ban導體設beiruan件研發經yan。 gongsi已經為客戶cheng功開發出量產ban導體設beikong制ruan件,應用yu包括LPCVD,PECVD, MOCVD, PVD,Etch(gan法ke蝕,濕法ke蝕),清洗機,Strip,EFEM, Sorter等ban導體設bei。 客戶設bei已經進入中芯guoji,華虹,長jiang存儲,中che,上華,奕斯偉,GCL,德州儀qi等一線Fab廠 。
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符合SEMI標準化要求,快速導入工廠自動化。提供從SECS/GEM驅動開發到設beikong制ruan件開發,到Fab廠EAPduijie,整體交鑰匙ruan件解juefang案。
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2024年04月26日 09:18