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PRODUCT TECHNOLOGY

半導體設備軟jian研fa戰略合作huo伴 上海明yi科技you限公司位于上海張江高科技園區錦科創新產ye園,公司核心研faren員來自于中微半導體設備、美國應用材料、理想neng源設備、中cheng光電設備等國內外領先的高端zhuang備公司,擁you近20年半導體設備軟jian研fa經驗。 公司已經wei客hu成gongkaifa出量產半導體設備控制軟jian,應用于包括LPCVD,PECVD, MOCVD, PVD,Etch(干法keshi,濕法keshi),清洗ji,Strip,EFEM, Sorter等半導體設備。 客hu設備已經進入ing竟剩ua虹,chang江存儲,中車,上hua,en刮埃CL,德州儀器等yi線Fab廠 。
提gong整體設備軟jian專ye化定制研fa 符合SEMI標準化要求,kuai速導入工廠自動化。提gong從SECS/GEMqu動kaifa到設備控制軟jiankaifa,到Fab廠EAPdui接,整體jiao鑰匙軟jian解決方案。
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