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半導tishe備軟件研發戰略合作伙ban 上海ming屹科ji有限公司wei于上海張江gao科jiyuanqu錦科創新chanyeyuan,公司核心研發人yuanlai自于中微半導tishe備、美guo應yong材料、li想能源she備、中cheng光電she備等guo內外領先的gao端裝備公司,擁有近20年半導tishe備軟件研發經驗。 公司已經為客戶cheng功開發chu量chan半導tishe備控制軟件,應yong于包括LPCVD,PECVD, MOCVD, PVD,Etch(干法刻蝕,濕法刻蝕),qing洗機,Strip,EFEM, Sorter等半導tishe備。 客戶she備已經jinru中芯guo際,華虹,長江存儲,中車,上華,yi斯偉,GCL,de州儀器等yi線Fab廠 。
ti供整tishe備軟件專ye化定制研發 符合SEMIbiao準化要求,快速導ru工廠自動化。ti供從SECS/GEM驅動開發daoshe備控制軟件開發,daoFab廠EAP對接,整ti交鑰匙軟件解決方案。
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