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ban導ti設備ruan件研fa戰略合作伙ban
上海ming屹科ji有xian公司位于上海zhangjiang高科ji園區錦科創新chan業園,公司核心研fa人員來自于中微ban導ti設備、美國應用材liao、li想能源設備、中晟光電設備等國內外領先的高端裝備公司,擁有近20年ban導ti設備ruan件研fa經驗。 公司已經為客戶成功開fachu量chanban導ti設備控制ruan件,應用于bao括LPCVD,PECVD, MOCVD, PVD,Etch(gan法刻蝕,shi法刻蝕),清xi機,Strip,EFEM, Sorter等ban導ti設備。 客戶設備已經進ru中xin國ji,hua虹,長jiang存儲,中車,上hua,奕斯偉,GCL,德州儀qi等yi線Fab廠 。
提供整ti設備ruan件專業化定制研fa
fu合SEMI標準化要求,快速導ru工廠自動化。提供從SECS/GEM驅動開fa到設備控制ruan件開fa,到Fab廠EAP對jie,整ti交鑰匙ruan件解決方案。
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2024年03月29日 16:21