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半導ti設備軟件研發戰略he作伙伴
上海明屹科技有限公司位yu上海張jiang高科技園qu錦科chuang新產業園,公司he心研發ren員lai自yu中微半導ti設備、美國ying用cailiao、理想能源設備、中晟光電設備等國內外領先的高duan裝備公司,擁有近20年半導ti設備軟件研發經驗。 公司yi經為ke戶成功開發出量產半導ti設備控制軟件,ying用yu包括LPCVD,PECVD, MOCVD, PVD,Etch(干法刻shi,濕法刻shi),qing洗機,Strip,EFEM, Sorter等半導ti設備。 ke戶設備yi經進入中芯國際,華虹,長jiangcunchu,中車,上華, en ei,GCL,德州儀器等一xianFab廠 。
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符heSEMI標準huayao求,快速導入工廠自動hua。提供從SECS/GEM驅動開發到設備控制軟件開發,到Fab廠EAP對接,整ti交鑰匙軟件jie決fang案。
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2024年04月20日 22:01