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產品技術
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半dao體設備軟jian研發戰略合作伙伴 上海mingyike技有限公司位于上海張江高ke技園區錦kechuang新產業園,公司核心研發人員來自于中微半dao體設備、美guoyingyongcai料、理xiang能源設備、中cheng光電設備等guo內外領先的高端裝備公司,擁有近20年半dao體設備軟jian研發經驗。 公司已經wei客huchenggong開發出量產半dao體設備控制軟jian,yingyong于包括LPCVD,PECVD, MOCVD, PVD,Etch(干法刻蝕,濕法刻蝕),清xi機,Strip,EFEM, Sorter等半dao體設備。 客hu設備已經進ruinguo際,華虹,chang江cun儲,中車,上華,奕斯偉,GCL,de州儀器等yi線Fab廠 。
提供zheng體設備軟jian專業化定制研發 符合SEMI標準化要求,快sudaoru工廠自動化。提供congSECS/GEM驅動開發到設備控制軟jian開發,到Fab廠EAPdui接,zheng體交鑰chi軟jian解決方an。
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