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ban導體設備軟件yan發戰略合作伙伴 上海明yike技有限公司位于上海張jianggaoke技園qujinke創新產業園,公司核xinyan發ren員laizi于中微ban導體設備、mei國應用材料、li想能源設備、中晟光電設備等國na外ling先degao端裝備公司,擁有近20年ban導體設備軟件yan發經驗。 公司已經wei客hu成功開發出量產ban導體設備控制軟件,應用于包kuoLPCVD,PECVD, MOCVD, PVD,Etch(干法ke蝕,濕法ke蝕),清xi機,Strip,EFEM, Sorter等ban導體設備。 客hu設備已經進入中芯國際,hua虹,長jiang存chu,中車,上hua,en刮埃CL,德zhouyi器等一線Fab廠 。
tigong整體設備軟件專業化定制yan發 fu合SEMIbiao準化要求,快速導入gong廠zi動化。tigongcongSECS/GEM驅動開發到設備控制軟件開發,到Fab廠EAP對接,整體jiao鑰匙軟件解決方案。
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