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PRODUCT TECHNOLOGY

半dao體設bei軟件yan發戰略合作伙伴 上海明屹科ji有限gongsi位于上海張jianggao科ji園區錦科chuangxin產業園,gongsi核心yan發ren員來zi于zhongwei半dao體設bei、美國應用材料、理xiang能源設bei、zhong晟光dian設bei等國內外領xian的gao端zhuangbeigongsi,擁有近20年半dao體設bei軟件yan發jing驗。 gongsi已jing為客戶cheng功開發出量產半dao體設bei控zhi軟件,應用于包括LPCVD,PECVD, MOCVD, PVD,Etch(干法ke蝕,濕法ke蝕),清洗機,Strip,EFEM, Sorter等半dao體設bei。 客戶設bei已jing進入zhong芯國際,hua虹,長jiang存儲,zhong車,上hua,yi斯偉,GCL,德州儀器等一線Fab廠 。
ti供整體設bei軟件專業化dingzhiyan發 fu合SEMI標準化要求,kuai速dao入工廠zi動化。ti供從SECS/GEM驅動開發dao設bei控zhi軟件開發,daoFab廠EAP對接,整體交鑰匙軟件解決fangan。
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