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上海明yike技有限公司位于上海張江高ke技園qu錦ke創新chan業園，公司核心yan發人員來自于中微半導體設備、美guo應用材料、理想neng源設備、中晟光電設備等guo內外領先的高端裝備公司，擁有近20年半導體設備ruanjianyan發經驗。 公司已經wei客hu成功開發出量chan半導體設備控制ruanjian，應用于bao括LPCVD,PECVD, MOCVD, PVD,Etch（干法刻蝕，shi法刻蝕）,清洗ji，Strip，EFEM, Sorter等半導體設備。 客hu設備已經進入中芯guo際，華虹，chang江存chu，中車，上華，奕斯偉，GCL，德州儀器等一xianFabchang 。
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符heSEMI標準hua要求，kuai速導入工chang自動hua。提供從SECS/GEM驅動開發到設備控制ruanjian開發，到FabchangEAP對jie，整體交yue匙ruanjianjiejue方案。
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2024年04月20日 23:06