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shang海明屹ke技有xian公司wei于shang海張jiang高ke技yuan區錦ke創新產業yuan，公司核心yanfaren員laizi于中weiban導體設備、美國應用材料、理xiangneng源設備、中晟guang電設備等國na外領先的高duan裝備公司，擁有近20年ban導體設備ruan件yanfa經驗。 公司已經wei客hu成功開fa出量產ban導體設備控制ruan件，應用于baokuoLPCVD,PECVD, MOCVD, PVD,Etch（干法刻shi，濕法刻shi）,清洗機，Strip，EFEM, Sorter等ban導體設備。 客hu設備已經進入中xin國際，huahong，長jiang存儲，中che，shanghua， en刮埃 CL，德州儀器等一線Fabchang 。
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符合SEMI標準化yao求，kuai速導入工changzi動化。提供congSECS/GEM驅動開fa到設備控制ruan件開fa，到FabchangEAP對接，整體交鑰匙ruan件解決方案。
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2024年04月26日 00:34