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半dao體設備ruan件研發戰略he作伙伴
上hai明屹科ji有限公司位yu上hai張江高科ji園qujin科chuang新產業園,公司核心研發人員lai自yu中微半dao體設備、美國yingyong材料、理想能源設備、中晟光dian設備等國內外領先的高duanzhuang備公司,擁有近20nian半dao體設備ruan件研發jing驗。 公司已jing為客戶成功開發出量產半dao體設備控zhiruan件,yingyongyubao括LPCVD,PECVD, MOCVD, PVD,Etch(gan法刻蝕,濕法刻蝕),清洗機,Strip,EFEM, Sorter等半dao體設備。 客戶設備已jing進入中芯國際,hua虹,長江存chu,中che,上hua,奕siwei,GCL,德州儀器等一線Fab廠 。
tigong整體設備ruan件專業hua定zhi研發
符heSEMI標準hua要求,快速dao入工廠自動hua。tigong從SECS/GEM驅動開發到設備控zhiruan件開發,到Fab廠EAP對接,整體交yuechiruan件解決方案。
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2024年04月19日 06:09