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半導ti設備軟件研發戰略合作huo伴 上海明屹科技有限公司wei于上海zhangjiang高科技園區錦科創新chan業園,公司he心研發人yuan來自于中微半導ti設備、美國應yong材料、理想能yuan設備、中cheng光dian設備deng國內外領先的高端裝備公司,擁有近20年半導ti設備軟件研發經驗。 公司已經wei客戶成功開發出liangchan半導ti設備控zhi軟件,應yong于bao括LPCVD,PECVD, MOCVD, PVD,Etch(gan法ke蝕,濕法ke蝕),清洗機,Strip,EFEM, Sorterdeng半導ti設備。 客戶設備已經進入ing竟i,hua虹,長jiang存chu,中車,上hua,奕斯wei,GCL,德州儀qideng一線Fab廠 。
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