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上海明屹科ji有xian公司wei于上海張江高科ji園區jin科創新產業園，公司核xinyan發人員來自于中微半導ti設備、美國應用材料、理xiang能yuan設備、中晟光dian設備等國內wai領先的高duan裝備公司，yong有近20年半導ti設備ruan件yan發經驗。 公司已經為客戶成gong開發出liang產半導ti設備控制ruan件，應用于包括LPCVD,PECVD, MOCVD, PVD,Etch（gan法keshi，濕法keshi）,清洗機，Strip，EFEM, Sorter等半導ti設備。 客戶設備已經進入中芯國際，華虹，長江存儲，中車，上華，奕斯偉，GCL，德州儀器等一xianFab廠 。
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fu合SEMI標準huayao求，kuai速導入工廠自動hua。提gong從SECS/GEM驅動開發到設備控制ruan件開發，到Fab廠EAPdui接，整ti交yuechiruan件解jue方an。
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2024年04月19日 01:17