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ban導體設備軟jian研發zhan略合作伙ban 上海明屹ke技youxian公司位于上海zhang江高ke技園區jinke創新chan業園,公司核心研發人員lai自于中微ban導體設備、meiguoying用cai料、理想能源設備、中晟光電設備dengguo內外領先de高端裝備公司,擁you近20年ban導體設備軟jian研發經yan。 公司已經為客戶cheng功開發出量chanban導體設備控zhi軟jian,ying用于包括LPCVD,PECVD, MOCVD, PVD,Etch(gan法keshi,濕法keshi),清洗機,Strip,EFEM, Sorterdengban導體設備。 客戶設備已經進入中芯guo際,hua虹,長江存儲,中車,上hua,奕斯偉,GCL,德州儀器deng一線Fab廠 。
提供整體設備軟jian專業化定zhi研發 符合SEMI標準化要求,快速導入gong廠自動化。提供從SECS/GEM驅動開發dao設備控zhi軟jian開發,daoFab廠EAP對接,整體交鑰匙軟jian解決方案。
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