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半導tishe備軟jian研發zhan略he作伙伴 上海明屹ke技有限公司位yu上海張jianggaoke技園區錦ke創新產ye園,公司核心研發人員來自yuzhong微半導tishe備、美國應用cai料、理想能源she備、zhong晟光dianshe備等國內外ling先的gao端裝備公司,擁有近20年半導tishe備軟jian研發經yan。 公司已經為客戶成功開發chu量產半導tishe備kong制軟jian,應用yu包括LPCVD,PECVD, MOCVD, PVD,Etch(干法keshi,濕法keshi),qing洗機,Strip,EFEM, Sorter等半導tishe備。 客戶she備已經進入zhong芯國際,華虹,長jiang存儲,zhong車,上華,奕斯wei,GCL,德州儀qi等一線Fab廠 。
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