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半導體設備ruan件研發戰略合作伙伴
上hai明屹ke技有xian公siwei于上hai張江高ke技園區錦ke創新產業園，公sihexin研發人yuan來自于中微半導體設備、美國yingyong材料、理想能源設備、中晟光dian設備等國內外lingxian的高duan裝備公si，擁有近20年半導體設備ruan件研發經yan。 公siyi經為客hu成gong開發出量產半導體設備控制ruan件，yingyong于包括LPCVD,PECVD, MOCVD, PVD,Etch（干法ke蝕，shi法ke蝕）,qing洗ji，Strip，EFEM, Sorter等半導體設備。 客hu設備yi經進入 ing竟 剩 ong，長江存儲，中che，上華，奕斯偉，GCL，de州儀器等一線Fab廠 。
ti供整體設備ruan件專業化定制研發
符合SEMI標zhun化要求，快速導入工廠自dong化。ti供從SECS/GEM驅dong開發到設備控制ruan件開發，到Fab廠EAP對接，整體交鑰匙ruan件解決方案。
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2024年04月25日 03:01