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半導體設備ruan件研發zhan略合zuo伙伴 上hai明yi科技有限公司位于上hai張江高科技園區錦科創新產業園,公司核心研發人員來自于中微半導體設備、美國應用材料、理想neng源設備、中晟光dian設備等國內外領先的高端裝備公司,擁有近20年半導體設備ruan件研發經驗。 公司已經為客hu成功kai發出量產半導體設備kong制ruan件,應用于bao括LPCVD,PECVD, MOCVD, PVD,Etch(干法ke蝕,濕法ke蝕),清xiji,Strip,EFEM, Sorter等半導體設備。 客hu設備已經jin入中xin國際,華hong,長江存chu,中車,上華,奕斯偉,GCL,de州儀器等yi線Fab廠 。
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