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bandao體設備軟件研發戰略合作伙伴 上hai明屹科ji有限公si位于上hai張江高科jiyuan區錦科創新chan業yuan,公si核心研發人員來zi于中weibandao體設備、美國ying用材料、lixiang能源設備、中晟光電設備deng國內外領xian的高端裝備公si,擁有近20年bandao體設備軟件研發jing驗。 公si已jing為客戶成功開發chu量chanbandao體設備控制軟件,ying用于bao括LPCVD,PECVD, MOCVD, PVD,Etch(gan法ke蝕,shi法ke蝕),qingxi機,Strip,EFEM, Sorterdengbandao體設備。 客戶設備已jing進入ing竟剩 ong,長江存儲,中車,上華,奕斯偉,GCL,德州儀器deng一線Fab廠 。
提供整體設備軟件專業化ding制研發 符合SEMI標準化要求,快速dao入gong廠zi動化。提供congSECS/GEM驅動開發到設備控制軟件開發,到Fab廠EAP對接,整體交鑰匙軟件解決方案。
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