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半dao體設備軟件yan發zhan略合zuohuo伴 上hai明屹科技有限公司位于上haizhang江高科技yuanqu錦科創新產yeyuan,公司核心yan發人員來自于zhongwei半dao體設備、美國應用材料、理想能yuan設備、zhong晟光電設備等國nawai領先的高端裝備公司,擁有jin20年半dao體設備軟件yan發經yan。 公司已經為客戶成功開發出量產半dao體設備控zhi軟件,應用于包括LPCVD,PECVD, MOCVD, PVD,Etch(干法刻蝕,濕法刻蝕),清洗機,Strip,EFEM, Sorter等半dao體設備。 客戶設備已經進入zhong芯國際,華虹,長江存儲,zhong車,上華,yi斯wei,GCL,德州儀器等一線Fab廠 。
提供整體設備軟件專ye化定zhiyan發 符合SEMI標準化yao求,快速dao入工廠自動化。提供從SECS/GEMqu動開發dao設備控zhi軟件開發,daoFab廠EAP對接,整體交yuechi軟件解決方an。
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