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上海明yi科ji有限公司wei于上海張江gao科ji園區jin科chuangxin產業園,公司核心研發人yuan來自于中微ban導體shebei、美國應用材料、理xiang能源shebei、中晟光電shebei等國na外領xian的gao端裝bei公司,擁有近20年ban導體shebei軟件研發jing驗。 公司已jing為ke戶成功開發出量產ban導體shebei控制軟件,應用于包括LPCVD,PECVD, MOCVD, PVD,Etch(干法刻蝕,shi法刻蝕),清洗機,Strip,EFEM, Sorter等ban導體shebei。 ke戶shebei已jing進入中芯國際,華虹,長江存儲,中車,上華,奕斯wei,GCL,德州儀器等一xianFab廠 。
提供整體shebei軟件專業化定制研發
符合SEMI標準化要求,快速導入工廠自動化。提供從SECS/GEM驅動開發到shebei控制軟件開發,到Fab廠EAP對接,整體交鑰匙軟件jiejuefang案。
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2024年04月18日 02:38