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上海明屹科技有限公司位于上海zhang江高科技yuan區jin科創新產yeyuan,公司核xin研發人員來自于中微半導體設備、美國ying用cai料、理xiang能yuan設備、中晟光電設備等國內外領先de高端zhuang備公司,擁有jin20nian半導體設備ruan件研發jingyan。 公司yijing為客戶成功開發出量產半導體設備kong制ruan件,ying用于包括LPCVD,PECVD, MOCVD, PVD,Etch(干法刻shi,濕法刻shi),清xi機,Strip,EFEM, Sorter等半導體設備。 客戶設備yijing進入中芯國際,華虹,長江存chu,中che,上華,yi斯偉,GCL,德州儀器等一線Fab廠 。
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符合SEMI標準化要求,快速導入工廠自dong化。提供從SECS/GEM驅dong開發到設備kong制ruan件開發,到Fab廠EAP對接,zheng體交鑰匙ruan件jie決方案。
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