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半導體設備軟件研發戰略合作伙ban 上hai明屹科技you限gong司weiyu上hai張江高科技園qu錦科創新chanye園,gong司核心研發人員lai自yu中微半導體設備、美國應用材料、理想能yuan設備、中晟光電設備等國內外領先的高端裝備gong司,擁you近20年半導體設備軟件研發經驗。 gong司已經為客戶成功kai發出量chan半導體設備控zhi軟件,應用yubaokuoLPCVD,PECVD, MOCVD, PVD,Etch(gan法ke蝕,濕法ke蝕),清洗ji,Strip,EFEM, Sorter等半導體設備。 客戶設備已經進ru中芯國際,華虹,長江存儲,中che,上華,奕斯偉,GCL,德州yi器等一線Fabchang 。
ti供整體設備軟件zhuanyehua定zhi研發 fu合SEMI標準hua要求,快速導ru工chang自donghua。ti供從SECS/GEM驅dongkai發到設備控zhi軟件kai發,到FabchangEAP對jie,整體交鑰匙軟件解決方案。
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