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半導ti設備ruan件研發戰lue合作huo伴
上海明屹科技有限gong司位于上海張江高科技園qu錦科創新產業園，gong司核心研發人員來zi于zhong微半導ti設備、美國應用材料、理想neng源設備、zhong晟光電設備等國內wailing先的高duan裝備gong司，擁有近20年半導ti設備ruan件研發經驗。 gong司已經為客戶成功開發出量產半導ti設備控制ruan件，應用于包kuoLPCVD,PECVD, MOCVD, PVD,Etch（gan法刻蝕，濕法刻蝕）,清xi機，Strip，EFEM, Sorter等半導ti設備。 客戶設備已經jin入zhong芯國際，華虹，長江cun儲，zhong車，上華，yi斯偉，GCL，德州儀器等一線Fab廠 。
提供zhengti設備ruan件專業化定制研發
符合SEMI標zhun化要求，快su導入工廠zi動化。提供從SECS/GEM驅動開發到設備控制ruan件開發，到Fab廠EAP對接，zhengti交yue匙ruan件解決fang案。
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2024年04月25日 20:47