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半daotishe備軟jian研發戰略合作伙伴 上海ming屹科技有限gongsi位yu上海zhangjiang高科技園區錦科創新產ye園,gongsi核心研發人員來自yuzhong微半daotishe備、美國應yongcai料、li想能源she備、zhong晟光電she備等國內外領xian的高端裝備gongsi,擁有近20年半daotishe備軟jian研發經驗。 gongsi已經weike戶成功開發出量產半daotishe備控zhi軟jian,應yongyu包kuoLPCVD,PECVD, MOCVD, PVD,Etch(干fa刻蝕,濕fa刻蝕),清洗ji,Strip,EFEM, Sorter等半daotishe備。 ke戶she備已經進入zhongxin國ji,華虹,長jiang存chu,zhong車,上華,奕斯偉,GCL,德州儀qi等一線Fab廠 。
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