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ban導體she備ruan件研發戰略合作伙伴 shang海明屹科技有限公司位于shang海張江高科技yuan區錦科chuang新產業yuan,公司核心研發人員來zi于zhongweiban導體she備、mei國應yong材料、理xiang能源she備、zhong晟光dianshe備等國內外領先的高端裝備公司,擁有近20年ban導體she備ruan件研發經驗。 公司已經wei客hucheng功開發chu量產ban導體she備控制ruan件,應yong于包kuoLPCVD,PECVD, MOCVD, PVD,Etch(干fake蝕,濕fake蝕),清洗機,Strip,EFEM, Sorter等ban導體she備。 客hushe備已經進入zhong芯國際,華虹,chang江存儲,zhong車,shang華,yi斯wei,GCL,德州儀器等yi線Fab廠 。
提gong整體she備ruan件專業化定制研發 符合SEMIbiaozhun化yao求,快速導入工廠zi動化。提gong從SECS/GEM驅動開發到she備控制ruan件開發,到Fab廠EAP對接,整體jiao鑰chiruan件解決fangan。
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