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半dao體設備ruan件研發戰略合zuo伙伴
shang海明yi科技有限公司wei于shang海張江高科技園qu錦科創新chan業園，公司核xin研發人員來自于中微半dao體設備、美國ying用材liao、理想能yuan設備、中晟光電設備等國內外ling先的高端裝備公司，擁有近20年半dao體設備ruan件研發經驗。 公司已經為客戶成gong開發chuliangchan半dao體設備kong制ruan件，ying用于包括LPCVD,PECVD, MOCVD, PVD,Etch（干fa刻蝕，濕fa刻蝕）,清xi機，Strip，EFEM, Sorter等半dao體設備。 客戶設備已經進入中芯國ji，華虹，長江存儲，中車，shang華，yisi偉，GCL，德州儀qi等一線Fabchang 。
提供整體設備ruan件zhuan業化定制研發
符合SEMI標zhun化要求，快速dao入工chang自動化。提供congSECS/GEM驅動開發到設備kong制ruan件開發，到FabchangEAPdui接，整體交鑰匙ruan件解juefang案。
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2024年04月16日 13:27