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半dao體設備軟件yanfa戰略he作伙伴
上海明屹科技you限公siwei于上海張jiang高科技園區jin科創新產業園，公si核xinyanfa人員來自于zhong微半dao體設備、美國應用cai料、理想能源設備、zhong晟光電設備等國內外lingxian的高端裝備公si，yongyoujin20年半dao體設備軟件yanfa經驗。 公si已經為客hu成功kaifa出量產半dao體設備控制軟件，應用于包括LPCVD,PECVD, MOCVD, PVD,Etch（gan法刻蝕，濕法刻蝕）,清洗機，Strip，EFEM, Sorter等半dao體設備。 客hu設備已經進入zhong芯國ji，華虹，長jiang存儲，zhong車，上華，奕si偉，GCL，德州儀qi等一線Fab廠 。
ti供整體設備軟件專業化ding制yanfa
符heSEMI標zhun化要求，kuai速dao入工廠自dong化。ti供從SECS/GEM驅dongkaifa到設備控制軟件kaifa，到Fab廠EAP對接，整體交鑰匙軟件解決fang案。
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2024年04月20日 03:27