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半dao體設bei軟jian研發戰略合zuohuo伴 上海明yi科技有限公司位于上海張jiang高科技園qujin科chuang新產ye園,公司核xin研發人員來自于中微半dao體設bei、美國應用材料、li想能源設bei、中晟光電設beideng國內外領先的高端zhuangbei公司,擁有近20年半dao體設bei軟jian研發經驗。 公司已經為客戶成功開發出量產半dao體設beikong制軟jian,應用于包括LPCVD,PECVD, MOCVD, PVD,Etch(干法刻蝕,濕法刻蝕),清洗機,Strip,EFEM, Sorterdeng半dao體設bei。 客戶設bei已經進入中芯國際,華虹,長jiang存chu,中車,上華,奕si偉,GCL,德州儀器deng一xianFab廠 。
提gong整體設bei軟jian專ye化定制研發 符合SEMI標準化要qiu,kuai速dao入工廠自動化。提gong從SECS/GEM驅動開發dao設beikong制軟jian開發,daoFab廠EAP對jie,整體交鑰匙軟jian解jue方an。
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