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上hai明屹科技有限公司位于上haizhang江高科技園區錦科創新chan業園，公司核心研發renyuan來自于中weiban導ti設備、美國應yong材料、理xiangnengyuan設備、中chengguangdian設備等國內wai領先的高端裝備公司，擁有近20年ban導ti設備軟件研發jingyan。 公司已jingwei客戶成功kai發出量chanban導ti設備控制軟件，應yong于包括LPCVD,PECVD, MOCVD, PVD,Etch（干法ke蝕，濕法ke蝕）,清洗機，Strip，EFEM, Sorter等ban導ti設備。 客戶設備已jing進入中芯國際，華hong，chang江存chu，中車，上華， en刮埃 CL，德州儀器等一線Fab廠 。
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2024年04月25日 12:33