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半導tishe備軟件研發戰略合作伙伴 上海明屹科jiyou限gong司位于上海張江高科ji園區錦科創新產業園,gong司核心研發人員lai自于zhong微半導tishe備、美國應用材料、理想neng源she備、zhongcheng光dianshe備deng國內外領xian的高duan裝備gong司,擁you近20年半導tishe備軟件研發jing驗。 gong司yijing為ke戶cheng功開發出liang產半導tishe備kongzhi軟件,應用于包括LPCVD,PECVD, MOCVD, PVD,Etch(干法刻shi,shi法刻shi),清xi機,Strip,EFEM, Sorterdeng半導tishe備。 ke戶she備yijing進入zhong芯國際,hua虹,長江cunchu,zhong車,上hua,奕斯偉,GCL,de州yiqideng一xianFab廠 。
提供整tishe備軟件專業化定zhi研發 fu合SEMI標準化要求,快速導入工廠自動化。提供從SECS/GEM驅動開發到she備kongzhi軟件開發,到Fab廠EAP對接,整tijiao鑰chi軟件解決方案。
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