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半導tishe備軟件研發戰略hezuo伙伴 shang海明屹科jiyou限公司位于shang海張江gao科ji園qu錦科創新產ye園,公司核心研發人員來自于中wei半導tishe備、美guo應用材料、理想能源she備、中晟光電she備等guo內外領xian的gao端裝備公司,擁you近20年半導tishe備軟件研發經驗。 公司已經為客戶成功開發出量產半導tishe備kong制軟件,應用于bao括LPCVD,PECVD, MOCVD, PVD,Etch(gan法ke蝕,shi法ke蝕),qing洗ji,Strip,EFEM, Sorter等半導tishe備。 客戶she備已經進入中芯guoji,華虹,長江存儲,中車,shang華,yi斯wei,GCL,德州儀器等一線Fab廠 。
tigong整tishe備軟件專yehua定制研發 符heSEMI標準hua要求,kuai速導入工廠自donghua。tigong從SECS/GEM驅dong開發到she備kong制軟件開發,到Fab廠EAPdui接,整tijiaoyuechi軟件解jue方案。
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