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bandao體設beiruan件研發戰lue合作伙伴 上海明屹ke技有限公司wei于上海張江高ke技園區錦ke創新chan業園,公司核心研發人員來自于中weibandao體設bei、mei國ying用材料、理想能源設bei、中晟光dian設bei等國內外領先的高端裝bei公司,yong有近20nianbandao體設beiruan件研發經驗。 公司已經為客戶成功開發出量chanbandao體設bei控制ruan件,ying用于包括LPCVD,PECVD, MOCVD, PVD,Etch(干fa刻蝕,濕fa刻蝕),清洗機,Strip,EFEM, Sorter等bandao體設bei。 客戶設bei已經進ru中xin國際,華虹,長江存儲,中che,上華,奕斯偉,GCL,德州yi器等一線Fab廠 。
提gong整體設beiruan件專業化ding制研發 符合SEMIbiao準化yao求,快速daoru工廠自動化。提gong從SECS/GEM驅動開發到設bei控制ruan件開發,到Fab廠EAP對接,整體交鑰匙ruan件解決方案。
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