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半導體設備軟jian研發戰略he作伙ban 上hai明yi科技you限公siwei于上hai張江高科技園區錦科創新chan業園,公si核心研發人yuan來自于中微半導體設備、美國應yongcai料、lixiang能源設備、中晟光電設備等國內外領先的高端裝備公si,擁you近20年半導體設備軟jian研發jing驗。 公si已jing為客戶成gong開發出量chan半導體設備控制軟jian,應yong于包括LPCVD,PECVD, MOCVD, PVD,Etch(干法刻蝕,shi法刻蝕),清洗機,Strip,EFEM, Sorter等半導體設備。 客戶設備已jing進入中芯國際,華虹,長江存儲,中車,上華,yi斯偉,GCL,德州yi器等一xianFab廠 。
提gongzheng體設備軟jian專業化定制研發 符heSEMI標準化yao求,快速導入gong廠自動化。提gongcongSECS/GEM驅動開發到設備控制軟jian開發,到Fab廠EAP對接,zheng體交yuechi軟jian解決方案。
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