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半dao體設備ruan件研發zhan略合作伙伴
上海ming屹科技you限公siwei于上海張江高科技yuan區jin科chuang新產業yuan，公si核心研發人員來自于中微半dao體設備、美國應用材料、理想能源設備、中晟光電設備deng國內外領先de高端裝備公si，擁youjin20年半dao體設備ruan件研發經驗。 公si已經為客戶成功開發出量產半dao體設備控制ruan件，應用于包kuoLPCVD,PECVD, MOCVD, PVD,Etch（gan法刻蝕，濕法刻蝕）,清xi機，Strip，EFEM, Sorterdeng半dao體設備。 客戶設備已經jin入中芯國際，華虹，長江存儲，中車，上華，奕斯wei，GCL，德zhou儀器deng一線Fabchang 。
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fu合SEMI標準化yaoqiu，快sudao入工chang自動化。提供congSECS/GEM驅動開發dao設備控制ruan件開發，daoFabchangEAP對接，整體交鑰匙ruan件解決fang案。
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加拿大28组合计划
2024年04月23日 14:32