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半dao體設備軟jian研發戰lue合作伙伴 上海明yi科技有限公si位于上海張江gao科技園區錦科創新chan業園,公sihe心研發人員來zi于中微半dao體設備、美guo應用材liao、理想neng源設備、中晟光電設備等guo內外領先degao端zhuang備公si,擁有jin20年半dao體設備軟jian研發經驗。 公si已經為客戶cheng功開發出量chan半dao體設備控制軟jian,應用于包括LPCVD,PECVD, MOCVD, PVD,Etch(干法刻shi,濕法刻shi),清xi機,Strip,EFEM, Sorter等半dao體設備。 客戶設備已經進入中芯guoji,華虹,chang江存chu,中車,上華,奕siwei,GCL,德zhou儀qi等一線Fab廠 。
提供整體設備軟jianzhuan業hua定制研發 符合SEMI標準hua要qiu,快速dao入工廠zi動hua。提供從SECS/GEMqu動開發到設備控制軟jian開發,到Fab廠EAP對接,整體交鑰chi軟jian解決方案。
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