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半dao體設備軟jianyan發戰略合作huo伴 上海明yike技有限gong司位于上海張江高ke技yuan區錦ke創新產業yuan,gong司核xinyan發人員lai自于中微半dao體設備、美guo應用材liao、理xiang能源設備、中晟光dian設備等guonawai領先的高端裝備gong司,擁有近20年半dao體設備軟jianyan發經驗。 gong司yi經為客戶cheng功kai發出量產半dao體設備控制軟jian,應用于包括LPCVD,PECVD, MOCVD, PVD,Etch(干法刻蝕,shi法刻蝕),清洗機,Strip,EFEM, Sorter等半dao體設備。 客戶設備yi經jin入inguo際,華虹,長江cun儲,中車,上華,奕斯wei,GCL,德zhou儀器等一線Fab廠 。
提gong整體設備軟jianzhuan業化定制yan發 fu合SEMI標準化要qiu,快速dao入gong廠自動化。提gong從SECS/GEMqu動kai發到設備控制軟jiankai發,到Fab廠EAP對接,整體交鑰匙軟jian解決方案。
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