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上hai明yi科ji有xian公司位于上hai張江高科jiyuan區錦科chuangxin產業yuan,公司核心研fa人員lai自于中微ban導ti設備、美國ying用材料、理想能源設備、中cheng光電設備等國內外領先de高duanzhuang備公司,擁有近20年ban導ti設備ruanjian研fa經yan。 公司已經為客戶成功開fachu量產ban導ti設備控制ruanjian,ying用于bao括LPCVD,PECVD, MOCVD, PVD,Etch(干法刻蝕,shi法刻蝕),清洗機,Strip,EFEM, Sorter等ban導ti設備。 客戶設備已經進入中芯國際,華hong,長江cunchu,中車,上華,奕si偉,GCL,德州儀器等一線Fab廠 。
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符heSEMI標zhun化要qiu,快速導入工廠自動化。提供從SECS/GEM驅動開fa到設備控制ruanjian開fa,到Fab廠EAP對接,整ti交鑰匙ruanjian解決方an。
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2024年04月26日 15:28