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上海明屹ke技有限公si位于上海zhang江高ke技園qu錦ke創xin產業園，公si核心研發人員lai自于中微半導ti設備、美國應用材料、li想能源設備、中晟光dian設備deng國內外領先de高端裝備公si，擁有近20年半導ti設備ruan件研發經驗。 公si已經wei客戶成gong開發出量產半導ti設備控制ruan件，應用于包kuoLPCVD,PECVD, MOCVD, PVD,Etch（干法刻蝕，shi法刻蝕）,清洗機，Strip，EFEM, Sorterdeng半導ti設備。 客戶設備已經jin入 ing竟 剩 ua虹，長江存儲，中車，上hua，yi斯wei，GCL，德州儀器deng一線Fab廠 。
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符合SEMI標準化要求，kuai速導入工廠自dong化。提gong從SECS/GEM驅dong開發到設備控制ruan件開發，到Fab廠EAP對jie，整ti交yue匙ruan件解決方案。
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2024年04月27日 19:36