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半導ti設備軟件研發zhan略hezuo伙伴 上hai明屹科技有限公司位于上hai張江高科技園區錦科chuang新chanye園,公司核心研發人員來自于中微半導ti設備、美guo應用材liao、理想neng源設備、中晟光電設備等guo內wailing先的高端zhuang備公司,yong有近20年半導ti設備軟件研發經驗。 公司已經wei客hu成功開發出liangchan半導ti設備控制軟件,應用于包括LPCVD,PECVD, MOCVD, PVD,Etch(干法刻蝕,濕法刻蝕),qing洗機,Strip,EFEM, Sorter等半導ti設備。 客hu設備已經進入中芯guo際,華虹,長江cun儲,中che,上華,奕斯wei,GCL,德zhou儀器等一線Fab廠 。
提供zhengti設備軟件專ye化定制研發 符heSEMI標準化要求,kuai速導入工廠自動化。提供從SECS/GEMqu動開發到設備控制軟件開發,到Fab廠EAP對jie,zhengti交鑰匙軟件jie決方案。
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