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PRODUCT TECHNOLOGY
半導ti設備ruan件研發戰略合作伙ban
上海明屹科技有限公司wei于上海張jiang高科技園區錦科創新產業園,公司hexin研發人員來自于zhong微半導ti設備、美國ying用材料、理想neng源設備、zhong晟光dian設備等國內wai領先的高duan裝備公司,擁有近20年半導ti設備ruan件研發經驗。 公司已經為客戶成功開發chu量產半導ti設備kong制ruan件,ying用于bao括LPCVD,PECVD, MOCVD, PVD,Etch(干法刻蝕,濕法刻蝕),qing洗ji,Strip,EFEM, Sorter等半導ti設備。 客戶設備已經進ru ing竟 剩 紓 iangcun儲,zhong車,上華,奕斯偉,GCL,德州儀器等一線Fab廠 。
提gong整ti設備ruan件專業化定制研發
符合SEMI標準化要qiu,快速導rugong廠自dong化。提gong從SECS/GEM驅dong開發到設備kong制ruan件開發,到Fab廠EAPduijie,整ti交鑰匙ruan件jiejue方an。
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2024年04月27日 19:51