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半導ti設備軟件研發戰略合作伙伴 上海明屹ke技you限公司位于上海張江gaoke技園qujinke創新產業園,公司核心研發人員來自于中wei半導ti設備、美國ying用材料、理想能yuan設備、中晟光電設備等國內外領先的gao端zhuang備公司,擁youjin20nian半導ti設備軟件研發經驗。 公司已經為客戶成gongkai發chu量產半導ti設備控制軟件,ying用于包括LPCVD,PECVD, MOCVD, PVD,Etch(干法刻蝕,濕法刻蝕),清洗機,Strip,EFEM, Sorter等半導ti設備。 客戶設備已經進入中芯國際,華虹,chang江cun儲,中che,上華,yi斯偉,GCL,德州yiqi等一線Fabchang 。
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