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PRODUCT TECHNOLOGY

ban導體設備ruan件研發zhan略合zuo伙ban 上海ming屹科技有xian公司位yu上海張江高科技園區錦科創新產業園,公司核心研發人員來自yu中微ban導體設備、美國應yong材liao、理想neng源設備、中cheng光電設備等國內外ling先的高端裝備公司,擁有近20nianban導體設備ruan件研發經驗。 公司已經為客戶成功開發出liang產ban導體設備kong制ruan件,應yongyu包括LPCVD,PECVD, MOCVD, PVD,Etch(干法ke蝕,shi法ke蝕),qingxi機,Strip,EFEM, Sorter等ban導體設備。 客戶設備已經進入中芯國際,hua虹,長江存儲,中車,上hua,奕斯偉,GCL,德zhou儀器等一線Fab廠 。
提供整體設備ruan件專業化定制研發 符合SEMIbiao準化要求,快su導入gong廠自動化。提供從SECS/GEM驅動開發到設備kong制ruan件開發,到Fab廠EAP對接,整體交yue匙ruan件解決方案。
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