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半daoti設備ruanjian研發zhan略hezuo伙伴
上海明屹ke技有限公司位yu上海張江高ke技園區錦kechuang新產ye園，公司核心研發人員來自yu中微半daoti設備、美國應用材料、理xiangneng源設備、中晟光電設備等國內外領xian的高端zhuang備公司，擁有近20年半daoti設備ruanjian研發經驗。 公司yi經為客戶成功開發chu量產半daoti設備控制ruanjian，應用yubao括LPCVD,PECVD, MOCVD, PVD,Etch（干法ke蝕，濕法ke蝕）,清洗ji，Strip，EFEM, Sorter等半daoti設備。 客戶設備yi經進入中芯國際，華虹，chang江cun儲，中車，上華，奕si偉，GCL，德州儀器等一線Fab廠 。
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符heSEMI標準化要qiu，快速dao入工廠自動化。提gong從SECS/GEM驅動開發到設備控制ruanjian開發，到Fab廠EAP對接，整ti交鑰匙ruanjianjie決方案。
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2024年04月27日 01:23