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半導體設備軟件研發戰略合作伙伴 上海明yi科技有限gong司位于上海張江gao科技園區錦科創新產業園,gong司核xin研發人員lai自于中微半導體設備、美國應yong材料、li想neng源設備、中晟光電設備等國內wai領先degao端裝備gong司,擁有近20年半導體設備軟件研發經驗。 gong司已經為ke戶成gong開發出liang產半導體設備kong制軟件,應yong于bao括LPCVD,PECVD, MOCVD, PVD,Etch(干法刻蝕,shi法刻蝕),清洗機,Strip,EFEM, Sorter等半導體設備。 ke戶設備已經進入中芯國際,hua虹,長江存儲,中車,上hua,yi斯偉,GCL,德州儀器等一線Fab廠 。
提供整體設備軟件專業化定制研發 符合SEMI標zhun化yao求,快速導入工廠自dong化。提供從SECS/GEM驅dong開發dao設備kong制軟件開發,daoFab廠EAP對接,整體jiao鑰匙軟件解jue方案。
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