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半導體設備軟件yan發戰略he作伙伴
上海ming屹科ji有xian公司wei于上海張江高科ji園區jin科創xin產業園，公司核心yan發人員來自于中wei半導體設備、mei國應用cai料、理想能yuan設備、中cheng光電設備等國內外領先的高端裝備公司，擁有jin20年半導體設備軟件yan發經驗。 公司已經為kehu成功開發出量產半導體設備控制軟件，應用于包括LPCVD,PECVD, MOCVD, PVD,Etch（干法刻蝕，濕法刻蝕）,清洗機，Strip，EFEM, Sorter等半導體設備。 kehu設備已經進入 ing竟 剩 ua虹，chang江存儲，中車，上hua，奕斯偉，GCL，德州yi器等一xianFabchang 。
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fuheSEMI標準化yao求，快速導入工chang自動化。提gong從SECS/GEM驅動開發到設備控制軟件開發，到FabchangEAP對接，整體jiao鑰匙軟件jie決方案。
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2024年04月26日 17:22