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shang海明yi科技youxiangong司位yushang海zhang江gao科技園區錦科chuang新產業園，gong司核心研fa人yuan來自yu中微半導體設bei、mei國應yong材liao、理想能源設bei、中晟光dian設beideng國內外領先的gao端裝beigong司，擁you近20年半導體設beiruan件研fa經驗。 gong司已經wei客戶成功開fa出量產半導體設bei控制ruan件，應yongyu包kuoLPCVD,PECVD, MOCVD, PVD,Etch（干法刻蝕，濕法刻蝕）,清洗機，Strip，EFEM, Sorterdeng半導體設bei。 客戶設bei已經進入中芯國際，華虹，長江存儲，中車，shang華，奕斯偉，GCL，德zhou儀qidengyi線Fabchang 。
提供整體設beiruan件專業化定制研fa
符合SEMI標準化要求，快速導入工chang自動化。提供從SECS/GEM驅動開fadao設bei控制ruan件開fa，daoFabchangEAP對接，整體交鑰匙ruan件解決fang案。
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2024年04月26日 17:18