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半導ti設備軟jian研發戰略合作伙ban
上海明屹科ji有xiangong司位于上海張jiang高科ji園qu錦科創新產業園,gong司核心研發人員來自于中微半導ti設備、美國應用cai料、理想能源設備、中晟guang電設備等國內wai領xiande高duan裝備gong司,擁有近20年半導ti設備軟jian研發經驗。 gong司已經為客戶成功開發出量產半導ti設備控zhi軟jian,應用于包括LPCVD,PECVD, MOCVD, PVD,Etch(gan法ke蝕,濕法ke蝕),清洗機,Strip,EFEM, Sorter等半導ti設備。 客戶設備已經進入 ing竟 i,華虹,長jiang存儲,中車,上華,奕斯wei,GCL,德州儀qi等一線Fab廠 。
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符合SEMIbiao準化要求,快速導入gong廠自dong化。提供congSECS/GEM驅dong開發dao設備控zhi軟jian開發,daoFab廠EAP對接,整ti交鑰匙軟jian解jue方案。
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2024年04月27日 07:10