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半導體設beiruan件研fa戰略合zuo伙伴 上hai明屹ke技有限公司wei于上hai張jiang高ke技園區錦ke創新產ye園,公司核心研fa人yuan來自于zhong微半導體設bei、美國yingyong材料、理想能源設bei、zhong晟光dian設bei等國內wai領xian的高duan裝bei公司,擁有近20年半導體設beiruan件研fa經驗。 公司yi經為ke戶成功開fa出量產半導體設bei控制ruan件,yingyong于bao括LPCVD,PECVD, MOCVD, PVD,Etch(gan法刻蝕,濕法刻蝕),清洗機,Strip,EFEM, Sorter等半導體設bei。 ke戶設beiyi經進入zhong芯國際,hua虹,長jiangcun儲,zhong車,上hua,奕斯偉,GCL,德州yi器等一線Fab廠 。
提供整體設beiruan件zhuanye化定制研fa 符合SEMI標準化要求,快速導入工廠自動化。提供congSECS/GEM驅動開fa到設bei控制ruan件開fa,到Fab廠EAP對接,整體交鑰匙ruan件解決方an。
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